中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机本月 5 日宣布携手 ZEISS推出瞄准光罩、先进封装、晶圆领域高精度测量需求的 COSMA-M。

　　该设备可提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，能满足先进制程对高精度测量的严苛要求，结合配套模块可实现全自动化测量。

　　COSMA-M应用范围覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV、CPO 等领域，已获得部分潜在客户的送样验证测试。