东吴证券:先进制程抬升材料价值量 半导体含氟材料加速国产化

发布时间:2026-09-23 20:32

  根据SEMI,2026 年全球半导体化学品市场预计超过200亿美元,其中电子气体、湿电子化学品占比约31%、19%,贡献主要基础价 值量。随着≤7nm先进制程产能增速快于行业整体,光刻、刻蚀及CMP循环次数增加,推动单位晶圆材料用量与高 端品占比同步提升。分品类看,先进制程对光刻胶、CMP及电子特气的边际拉动更明显;国产替代方面,2025年, 湿化学品整体国产化率该行预计已达50%-60%,而KrF/ArF光刻胶国产化率该行预计不足3%/1%,电子特气国产化 率该行预计约25%,高端光刻胶与电子特气仍是国产替代空间更大的方向。

  PFPE主要用于半导体设备温 控,3M于2022年底宣布退出PFAS制造,该行预计当时3M占全球半导体控温液约80%份额;2025年 底正式退出后,原有份额开始重新分配,新宙邦可承接主要份额。该行预计2030年PFPE需求1.2万吨、市场空间63 亿元,具备量产和设备认证能力的国内厂商有望承接份额。HFE主要用于半导体及精密电子清洗,3MNovec退出后 进入替代期,海外仍以AGC、Chemours等为主;该行预计2030年全球需求0.76万吨、市场空间14.4亿元,竞争重 点转向客户认证和稳定供货。电子级HF受晶圆投片增长、先进/存储占比提升及G5/G5+渗透驱动,该行预计2030 年需求27万吨、市场空间54亿元,高等级有效供给仍受提纯、洁净包装和客户认证约束。

  含氟电子特气:需求重心由成熟清洗气向先进刻蚀/沉积气体升级,WF6、C4F6供需偏紧、量价弹性突出

  WF6用 于CVD/ALD钨沉积,受先进存储、逻辑金属化及海外供给扰动驱动,该行测算2025-2030年全球需求由约0.94万吨 增至1.93万吨,市场空间由103亿元增至221亿元;2026年供需仍偏紧,产品价格中枢上移,2026年中船特气具备 2000吨6N级产能,另有1000吨规划产能该行预计2027年投产。C4F6用于高深宽比介质刻蚀,受先进逻辑、HBM 及3D NAND推动,该行测算2025-2030年全球需求由0.2-0.3万吨增至0.6万吨,市场空间由55亿元增至140亿元; 2026年5N级有效需求约0.22万吨,存在供需缺口。国内昊华科技、中船特气等已形成产能或小批量供应。

  PFA是湿法工艺核心结构 材料,应用于湿法设备管路、阀门、接头、槽体及过滤器外壳等环节;2025年全球半导体级PFA需求约2万吨,该行 预计2030年超纯PFA需求或至4万吨左右。截至2026H1,科慕+大金名义产能占全球PFA名义产能40%+,国内巨 化逐步突破 。PTFE用量最大,中低端国产供给充足但超纯级仍依赖海外。FFKM是刻蚀、沉积设备关键密封材料, 该行预计2026年全球半导体级生胶需求约200吨。海外高端密封件由杜邦、Greene Tweed等主导,国内巨化、东 岳加速替代,但2025年有效产能仅8-10吨,后续放量仍取决于低析出、批次一致性及先进制程认证。

  

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