华海清科披露2026年度向特定对象发行A股股票预案，本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过40亿元，扣除发行费用后，募集资金净额拟投入以下项目：13.42亿元用于上海集成电路装备研发制造基地项目，4.45亿元用于晶圆再生扩产项目，22.13亿元用于高端半导体装备研发项目。