针对外界传言台积电现阶段不投入高数值孔径极紫外光设备，台积电董事长魏哲家在股东会上亲自出面辟谣，强调公司不仅没有不投资，且早已购入相关设备，只是暂时不投入量产。由于成本高，目前生产中不需要 High-NA EUV。台积电正在努力降低成本，并在投入生产前最大化高数值孔径 EUV 的效益。