ASML 目前最先进的激光器可以产生波长约为 13.5 纳米的极紫外光,而 xLight 的目标则是实现精确到 2 纳米的波长。
无论 Terafab 最终选择哪种 EUV 光源,都很难完全摆脱对 ASML 的依赖。因为一套完整的光刻系统不仅需要光源,还需要光学系统、掩模版和控制系统,而这些恰恰都是 ASML 的核心技术优势所在。
因此,马斯克设想中的 FEL-EUV 方案最终能否落地,可能仍然取决于 ASML 能否提供与之兼容的光刻系统。与此同时,台积电和三星仍在持续扩大先进制程产能,Terafab 如果要实现大规模量产,其与现有光刻产业链之间的关系也将成为一个关键问题。
特别
我妈退休金1万2,在我家住了10年,每月给我们1万,前几天我妈80大寿,我买了水果,还有蛋糕,当场宣布了一个重要消息
高中介词短语易混点——“look down on”到底是“向下看”还是“看不起”?一篇讲透!
高中介词短语易混点——“by means of”到底是“通过方式”还是“借助手段”?一篇讲透!










